2020-11-06
11月6日，荷兰光刻机巨头ASML副总裁、中国区总裁沈波在第三届中国国际进口博览会上对媒体表示，公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。
在本届进博会上，ASML尽管由于出口限制没有带来EUV光刻机，但是展示了DUV光刻机，可用于可生产7nm以及更大制程芯片的制造。沈波对媒体讲到，ASML在中国也建立了自己的培训中心，培养光刻行业人才 , 同时在深圳和北京成立了两家技术开发中心，做计算光刻、量测等开发。
而对于外界最关心的EUV光刻机出口许可问题，他认为ASML 必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。
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