2020-03-14 14:05:08
3月4日，梁孟松正式宣布，最新从荷兰ADSL订购的光刻机姗姗来迟，顺利进入中芯国际深圳工厂安装程序，同时中芯国际将在2020年下半年进行7nm芯片试产。不可否认，中芯国际正处于高速发展的十字路口，逆势扩大生产规模，招揽更多的芯片制造人才保驾护航是芯片领域屡试不爽的老套路。这次到货的光刻机只是中芯国际正常订购的产品，不涉及所谓的瓦森那协议的制约，令人遗憾的是此次到货的光刻机却不是2018年订购的EUV光刻机，即使如此，也将让中芯国际如虎添翼。
虽然这次来的光刻机还是DUV光刻机，但是和以前的中芯国际两条生产线上的光刻机有些区别，以前订购的DUV光刻机准分子激光器是采用248nm波长的KrF，这次订购的DUV光刻机准分子激光器是采用193波长的KrF，微小的区别生产出来的产品却大不一样。这次订购的光刻机最大的优势是能够使用浸润式光刻机，采用多重曝光技术将芯片工艺制程缩小到10nm以下，甚至是7nm。也就是说，这次来的光刻机最低可生产7nm工艺制程的芯片，但是有几个弊病需要注意：那就是会增加刻蚀和研磨的工艺次数，使得生产过程更加复杂；而且多重曝光技术会使良品率降低；三重曝光技术的光刻机成本也超过了EUV光刻机。
这次到货的ADSL光刻机，虽然比不上EUV光刻机一次曝光就可完成芯片的生产，但是却能够生产光刻7nm芯片。这台不同于以前的光刻机到货，不仅让中芯国际成功进入全球7nm厂商阵营，也意味着中国的中芯国际芯片王者将正式诞生，从此华为7nm及以上芯片稳了，华为不会再害怕芯片被断供了。此前传言，美国将把源自美国技术产品从25%下调到10%，为此华为把台积电南京厂的14nm芯片转单到中芯国际生产。无疑华为在以这样的方式支持中芯国际，国内两大巨头的强强合作，将会达成双方的双赢局面。
原本中芯国际就担心这台光刻机的供货问题，因此中芯国际做了两手准备。一个准备是如果光刻机受阻，中芯国际在没有7nm光刻机可用的情况下，在14nm芯片技术的基础上，延伸到N+1和N+2模式的研发；另一手准备就是在光刻机到货的情况下，采用光刻机生产7nm光刻芯片，没成想现在两种模式都即将付诸生产7nm芯片了。
然而让国人遗憾的是订购的EUV光刻机却没有到货，目前中芯国际拥有的深紫外光刻机只能生产7nm及以上芯片，而EUV极紫外光刻机却是生产7nm以下芯片的关键。目前全球三大EUV光刻机用户台积电、三星、英特尔，这三家芯片巨头正是采用了ADSL的EUV光刻机才生产出7nm芯片，甚至是5nm芯片。要知道，全球唯一能生产EUV光刻机的只有荷兰的ADSL公司，中国企业要想生产出5nm的芯片，就必须购买EUV光刻机，但是购买EUV光刻机有时候就是有钱也买不到。
不管怎么说，这台光刻机入驻中芯国际深圳工厂，意味着中芯国际芯片王者将正式诞生，同时也意味着国内除了5nm芯片之外，已经不惧任何断供和遏制了。众所周知，芯片行业更新迭代非常快，一步落后就会步步落后，要进入世界先进行列，只有两个途径：一是买到ADSL的EUV光刻机，二是殊途同归，找到技术进步的新途径达成5nm芯片的制造。中国科学院已经成功取得了2nm芯片的自主技术突破，未来一定会打破光科技的垄断。
